Chambergard™ Fast Vent 扩散器

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通过减少负载锁定室和传输室中的颗粒和排气时间，提高过滤效率和吞吐量。

烧结镍技术在各种应用中均提供可靠性能
该设计能够从进气中去除大于 0.0015 μm 的颗粒，从而减少晶圆缺陷
易于改造/安装到现有工具中，减少停机时间

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