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Wafergard® SF在线金属气体过滤器

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ꄴ前一个： Chambergard™ Fast Vent 扩散器

ꄲ后一个： Wafergard® 镍膜气体过滤器

全金属结构适用高温和动态压力应用

与大多数半导体工艺气体具有良好的化学相容性

高颗粒去除效率可减少晶圆上的缺陷，提高良率

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