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GateKeeper气体纯化器

GateKeeper气体纯化器

GateKeeper   GPU系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度

使用介质：腐蚀性气体，如Cl2、HBR、HCl、CF4、SO2、SF6

出口纯度：<1ppb

过滤精度：0.003um@99.99999

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