GateKeeper气体纯化系统
GateKeeper气体纯化系统
适用气体:氮气、氢气、氨气、XCDA等多种气体
流量:18-300m3/h
去除杂质:H2O,O2,CO,CO2非甲烷碳氢化合物
纯化指标: H20<100ppt,其他O2,CO,CO2和非甲烷碳氢化合物<1ppb
GateKeeper气体纯化系统
适用气体:氮气、氢气、氨气、XCDA等多种气体
流量:18-300m3/h
去除杂质:H2O,O2,CO,CO2非甲烷碳氢化合物
纯化指标: H20<100ppt,其他O2,CO,CO2和非甲烷碳氢化合物<1ppb