超高纯减压阀FR1400系列
超高纯减压阀FR1400系列
用于超高纯度气体输送，流量可达800 slpm
膜片与阀体间采用金属对金属密封
钝化和电抛光工艺
膜片/阀芯一体式安全型设计
标准膜片材料为Hastelloy®
Cv值0.5
超高纯减压阀FR1400系列
用于超高纯度气体输送，流量可达800 slpm
膜片与阀体间采用金属对金属密封
钝化和电抛光工艺
膜片/阀芯一体式安全型设计
标准膜片材料为Hastelloy®
Cv值0.5
