FR 系列减压阀用于半导体气体输送的优势

      半导体制造是一个复杂的过程，需要高精度和控制水平，任何与设定参数的偏差都可能导致缺陷或产品故障。半导体制造的关键方面之一是使用气体沉积、蚀刻或清洁晶圆上的各个层。这些气体需要以正确的压力和流速输送，以确保过程高效且有效。 压力越稳定，质量流量控制器输送正确气体流量的的性能就越好。

FR 系列调压阀的优势

1. 通用机身设计

FR 调压阀采用通用主体设计，可轻松集成到各种系统中。该设计还在流速和压力范围方面具有更大的灵活性，使其适用于更广泛的过程。

2. 最长循环寿命

FR 调压阀的一个关键特性是波纹哈氏®合金 C-22 隔膜，可增强耐腐蚀性并延长整体循环寿命。哈氏®合金是一种高度耐用和耐腐蚀的材料，可承受恶劣的环境和高压循环。

3. 可靠和安全

FR 调压阀配有金属对金属本体密封，可提供增强的泄漏完整性。FR 调节器在发货前经过氦气泄漏测试，以最大限度地提高自身安全性和性能。

4. 适应性强

FR系列调压器都具有多种端接尺寸和类型，轻松连接到不同类型的管道。FR减压阀还提供 NPT螺纹标准。

Applications for FR series pressure regulators

1. Point-of-use applications

2. Tool Hookup (Gas stick)

3. VMBs, VMPs, GIBs

4. Gas Cabinets

5. Bulk Specialty Gas Systems