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Wafergard®在线金属气体过滤器-大宗气体

全金属高流量过滤器满足了在交付点提供无颗粒工艺气体的担忧和需求。

提供适用于各种工艺气体的镍过滤膜
有多种配件类型，以满足客户的安装要求

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Chambergard™ Fast Vent 扩散器

通过减少负载锁定室和传输室中的颗粒和排气时间，提高过滤效率和吞吐量。

烧结镍技术在各种应用中均提供可靠性能
该设计能够从进气中去除大于 0.0015 μm 的颗粒，从而减少晶圆缺陷
易于改造/安装到现有工具中，减少停机时间

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Wafergard® SF在线金属气体过滤器

全金属结构适用高温和动态压力应用

与大多数半导体工艺气体具有良好的化学相容性

高颗粒去除效率可减少晶圆上的缺陷，提高良率

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Wafergard® 镍膜气体过滤器

镍膜气体过滤器，用于在高温下去除惰性和腐蚀性气体应用的超纯颗粒
Entegris 的超纯镍过滤器是适用于高压、高温应用的清洁气体过滤产品。

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Wafergard® 在线PTFE气体过滤器

这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，可在超纯气体应用以及一般氮气和 CDA 应用。

聚四氟乙烯滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低增压应用而设计
适用于惰性和反应性气体，包括臭氧
预处理，可快速启动（ (silver only) ）

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Gasketgard® 在线垫片过滤器

Gasketgard® 在线垫片过滤器是一种紧凑的全金属过滤器
适用于标准的 1/4“、3/8” 和 1/2“ VCR® 垫片。

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GateKeeper气体纯化器

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GateKeeper气体纯化系统

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